技術新知

ITO導電玻璃入門知識

--------------------------------------------------------------------------------

ITO導電玻璃是在鈉鈣基或矽硼基基片玻璃的基礎上,利用磁控濺射的方法鍍上一層氧化銦錫(俗稱ITO)膜加工製作成的。液晶顯示器專用ITO導電玻璃,還會在鍍ITO層之前,鍍上一層二氧化矽阻擋層,以阻止基片玻璃上的鈉離子向盒內液晶裏擴散。高檔液晶顯示器專用ITO玻璃在濺鍍ITO層之前基片玻璃還要進行拋光處理,以得到更均勻的顯示控制。液晶顯示器專用ITO玻璃基板一般屬超浮法玻璃,所有的鍍膜面為玻璃的浮法錫面。因此,最終的液晶顯示器都會沿浮法方向,規律的出現波紋不平整情況。

 

在濺鍍ITO層時,不同的靶材與玻璃間,在不同的溫度和運動方式下,所得到的ITO層會有不同的特性。一些廠家的玻璃ITO層常常表面光潔度要低一些,更容易出現“麻點”現象;有些廠家的玻璃ITO層會出現高蝕間隔帶,ITO層在蝕刻時,更容易出現直線放射型的缺劃或電阻偏高帶;另一些廠家的玻璃ITO層則會出現微晶溝縫。

 

[ ITO導電層的特性 ]

ITO膜層的主要成份是氧化銦錫。在厚度只有幾千埃的情況下,氧化銦透過率高,氧化錫導電能力強,液晶顯示器所用的ITO玻璃正是一種具有高透過率的導電玻璃。由於ITO具有很強的吸水性,所以會吸收空氣中的水份和二氧化碳並產生化學反應而變質,俗稱“黴變”,因此在存放時要防潮。

 

ITO層在活性正價離子溶液中易產生離子置換反應,形成其他導電和透過率不佳的反應物質,所以在加工過程中,儘量避免長時間放在活性正價離子溶液中。

ITO層由很多細小的晶粒組成,晶粒在加溫過程中會裂變變小,從而增加更多晶界,電子突破晶界時會損耗一定的能量,所以ITO導電玻璃的ITO層在600度以下會隨著溫度的升高,電阻也增大。

 

[ ITO導電玻璃的分類 ]

ITO導電玻璃按電阻分,分為高電阻玻璃(電阻在150~500歐姆)、普通玻璃(電阻在60~150歐姆)、低電阻玻璃(電阻小於60歐姆)。高電阻玻璃一般用於靜電防護、觸控螢幕製作用;普通玻璃一般用於TN類液晶顯示器和電子抗干擾;低電阻玻璃一般用於STN液晶顯示器和透明線路板。

 

ITO導電玻璃按尺寸分,有14x14”、14x16”、20x24”等規格;按厚度分,有2.0mm1.1mm0.7mm0.55mm0.4mm0.3mm等規格,厚度在0.5mm以下的主要用於STN液晶顯示器產品。

 

ITO導電玻璃按平整度分,分為拋光玻璃和普通玻璃。